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本发明提供MEMS设备，增大可动部的位移，降低MEMS设备的应力，使MEMS设备小型化，提高共振频率。本MEMS设备具有框状的固定部、在平面视时配置于固定部的内侧的可动部、支撑可动部的四个扭梁、相对于各个扭梁各设有一个、一端与扭梁连接且另一...
该专利属于三美电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三美电机株式会社授权不得商用。

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