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一种用于抑制干扰的变面积电容式传感器位移测量方法技术
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文档序号:46480198
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本发明公开了一种用于抑制干扰的变面积电容式传感器位移测量方法,涉及精密位移检测技术领域,包括:S1、利用变面积电容式传感器,获取差动电容阵列;S2、利用所述差动电容阵列,获取电容变化信号;S3、对所述电容变化信号进行差分处理,获取变面积电容...
该专利属于善测(天津)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过善测(天津)科技有限公司授权不得商用。
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