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本实用新型公开了一种改良型三氯氢硅提纯塔，包括提纯塔封头和提纯塔筒体，其特征在于：所述提纯塔封头和提纯塔筒体通过法兰密封连接，所述提纯塔筒体为多节重叠筒体通过连接法兰连接组成，提纯塔筒体内设有小直径内回流管，提纯塔筒体的外侧设有冷却介质进口...
该专利属于信息产业电子第十一设计研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信息产业电子第十一设计研究院有限公司授权不得商用。

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