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本发明公开了高精度半导体制造用焊线机，属于半导体制造设备技术领域，包括设置在下部的安装箱，安装箱内安装有多个超声波驱动板和一组降温机构，安装箱内还安装有工控机，降温机构包括两组降温组件、吹扫组件、两组输气组件和驱动组件。本发明中的降温机构通...
该专利属于深圳市明远自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市明远自动化设备有限公司授权不得商用。

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