下载硅片输送装置的技术资料

文档序号:46470974

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本技术涉及光伏设备制造领域,具体为硅片输送装置。其中包括基座、动力装置以及转盘;转盘安装在动力装置上,动力装置安装在基座上,动力装置驱动转盘进行旋转。转盘上沿径向均匀间隔设有多个凹槽,转盘上对应凹槽位置设有至少一个限位块,凹槽内壁之间设有缓...
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