下载一种高精度AFM探针贴片对准放置装置的技术资料

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本技术公开了一种高精度AFM探针贴片对准放置装置,该装置包括对准模片,和设置在对准模片上的对准放置位;所述对准放置位包括刻蚀对准模片一面的AFM探针轮廓,和刻蚀在对准模片另一面的贴片加载凹槽和AFM探针定位凹槽;所述AFM探针轮廓的刻蚀深度...
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