温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种高精度AFM探针贴片对准放置装置,该装置包括对准模片,和设置在对准模片上的对准放置位;所述对准放置位包括刻蚀对准模片一面的AFM探针轮廓,和刻蚀在对准模片另一面的贴片加载凹槽和AFM探针定位凹槽;所述AFM探针轮廓的刻蚀深度...该专利属于淄博探微纳米科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过淄博探微纳米科技有限责任公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开了一种高精度AFM探针贴片对准放置装置,该装置包括对准模片,和设置在对准模片上的对准放置位;所述对准放置位包括刻蚀对准模片一面的AFM探针轮廓,和刻蚀在对准模片另一面的贴片加载凹槽和AFM探针定位凹槽;所述AFM探针轮廓的刻蚀深度...