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本申请涉及光伏和半导体技术领域,尤其涉及一种腔体组件和反应炉,解决了反应炉的加热效率低的问题。本申请实施例提供的腔体组件包括腔体、至少一个加热件和至少一个保护件。腔体具有腔室,至少一个加热件设置于腔室,至少一个保护件的至少部分设置于腔室,保...该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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