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粒子束装置、传输路径调整用运算装置及粒子束装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:46457957
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一种粒子束装置,其具备:传输路径,将向被照射体照射的粒子束引导至照射部;射束调整部,调整粒子束的射束尺寸及射束位置;运算部;存储部;及优化处理部,探索射束调整部的参数候选值,运算部使用通过优化处理部探索到的参数候选值来调整射束调整部。...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。
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