下载粒子束装置、传输路径调整用运算装置及粒子束装置的制造方法的技术资料

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一种粒子束装置,其具备:传输路径,将向被照射体照射的粒子束引导至照射部;射束调整部,调整粒子束的射束尺寸及射束位置;运算部;存储部;及优化处理部,探索射束调整部的参数候选值,运算部使用通过优化处理部探索到的参数候选值来调整射束调整部。...
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