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本申请公开了一种晶硅铸锭用氮化硅涂层防护装置，其包括：石墨导热座，石墨导热座的顶部设置有用于晶硅铸锭的矩形坩埚，石墨导热座的顶部环绕在矩形坩埚的外部设置有呈矩形分布的四个石墨护板，四个石墨护板之间具有空腔，矩形坩埚设置在空腔的内部并贴合在石...
该专利属于金阳硅业科技（徐州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金阳硅业科技（徐州）有限公司授权不得商用。

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