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本发明公开一种判断制造设备健康度的系统和方法，其中系统包含编码簿数据库、历史数据数据库、建模服务器和边缘运算服务器。编码簿数据库储存制造设备在每道制程中多个监控参数。历史数据数据库储存制造设备所有参数的实时高频数据，以提供制造设备所有参数的...
该专利属于群创光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过群创光电股份有限公司授权不得商用。

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