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本发明涉及一种用于制造包括限定在薄层和载体衬底之间的多个腔体的结构体的方法，该方法包括以下步骤：a)提供供体衬底和载体衬底；b)将第一轻物质注入到供体衬底中，以便形成均匀的掩埋弱化平面，该均匀的掩埋弱化平面与供体衬底的正面一起界定要转移的薄...
该专利属于索泰克公司所有，仅供学习研究参考，未经过索泰克公司授权不得商用。

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