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本发明公开了一种掩膜版AOI检测的形变优化方法、系统及介质；涉及缺陷检测技术领域；在传统掩膜版AOI检测技术基础上，进行方法上的改进，通过建立扫描镜头聚焦值与目标掩膜版之间由于夹持关系产生的形变量和焦距值之间的关系，来直观地判断目标掩膜版形...
该专利属于成都路维光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都路维光电科技有限公司授权不得商用。

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