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本发明提供一种基于UV能量调控的晶圆表面保护方法。该基于UV能量调控的晶圆表面保护方法，包括，a.提供一紫外光源，所述紫外光源具有可调节的功率输出，b.提供一控制系统，所述控制系统能够根据环境温度和晶圆表面反应情况，精确调节紫外光源的能量输...
该专利属于晶度半导体科技（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶度半导体科技（安徽）有限公司授权不得商用。

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