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机电换能器元件制造技术
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文档序号:46445891
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机电换能器元件(1)具有由导电材料制成的第一电极层(4)和与之相间隔地布置的第二电极层(6)。第一和第二电极层(4、6)分别具有导电电极层接触部(7、8),所述导电电极层接触部能够经由第一测量装置(9)相互连接。在第一和第二电极层(4、6)...
该专利属于达姆施塔特工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过达姆施塔特工业大学授权不得商用。
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