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本发明公开了一种晶圆检测系统和晶圆检测方法。其中，晶圆检测系统包括：第一激光模块、第二激光模块、遮光模组、散射模组和控制模块；第一激光模块用于出射第一激光光线至待测晶圆；第二激光模块用于出射第二激光光线至待测晶圆；其中，第一激光光线的功率大...
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