温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种EMIB的MEMS传感器及其制备方法，一种EMIB的MEMS传感器的制备方法，包括：S1、提供带有凹槽的基板；S2、将ASIC芯片通过粘片胶贴装于所述基板的凹槽内，烘烤固化形成互连桥结构；S3、将两个带有TSV结构的Si基F...
该专利属于华天科技（西安）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华天科技（西安）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。