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本申请涉及石英基板加工技术领域,公开了一种石英基板粘合加热装置,包括:加热箱、放置板和推动机构,该推动机构设置在放置板的下方,该推动机构包括设置在放置板内部的推板,该推动机构还包括焊接在推板外壁上的连接板、焊接在放置板下方的连接杆和套设在连...该专利属于湖北希达半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北希达半导体科技有限公司授权不得商用。
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