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本申请涉及一种氦质谱检漏夹具，涉及氦质谱技术领域，包括放置板，放置板的顶面中心固定有供线缆缠绕的空心柱，放置板的底部固定有若干支脚，放置板上设若干组定位块，空心柱的下端向下贯通，空心柱的外壁设有多个通气孔，通气孔与空心柱的内部连通，放置板设...
该专利属于华辰芯光（无锡）半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华辰芯光（无锡）半导体有限公司授权不得商用。

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