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本发明提供了一种MEMS微振镜器件、封装结构及激光雷达装置，包括：MEMS微振镜；PCB基板，所述MEMS微振镜与所述PCB基板之间通过金线建立电性连接，两者的接触面之间通过软性粘合剂实现柔性连接。当外界冲击信号能量施加到MEMS微振镜器件...
该专利属于上海麦锴科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海麦锴科技有限公司授权不得商用。

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