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本发明公开了一种带多级缓冲的单晶炉顶腔密封装置，涉及单晶炉技术领域；包括：安装于单晶炉主体上的顶腔盖，所述顶腔盖内设置有第一缓冲罩和第二缓冲罩，第二缓冲罩设置于顶腔盖顶部内壁和第一缓冲罩之间；所述第一缓冲罩的顶部固定有多个安装架。本发明能够...
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