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本技术公开了一种具有防脱结构的垂直探针卡，涉及探针卡技术领域，包括与安装座配合连接的安装体，所述安装座与安装体之间配合设置有固定组件，该装置还包括用于对半导体晶圆进行测试的探针卡机构，所述安装体内部开设有移动腔，所述探针卡机构包括滑动配合在...
该专利属于米心半导体（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过米心半导体（江苏）有限公司授权不得商用。

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