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本申请提供了一种晶圆缺陷检测方法及系统，通过待测晶圆的夹持状态和缺陷检测光源的光照条件参数从待测晶圆的表面区域中筛选多个待补偿区域，从待测晶圆表面的照度分布中提取各个待补偿区域的照度梯度值，依据所有的照度梯度值确定待测晶圆中表面缺陷的缺陷置...
该专利属于深圳市舟鸿半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市舟鸿半导体科技有限公司授权不得商用。

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