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本技术属于物料吸附装置技术领域,公开了一种吸料装置,包括支撑机构、调节机构以及多个吸附机构。多个吸附机构沿X方向间距可调地设置于支撑机构内,吸附机构能够部分伸出支撑机构,以吸附待吸附物料。调节机构包括安装板和多个凸筋结构,安装板在Z方向上高...该专利属于华恒半导体设备(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华恒半导体设备(苏州)有限公司授权不得商用。
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本技术属于物料吸附装置技术领域,公开了一种吸料装置,包括支撑机构、调节机构以及多个吸附机构。多个吸附机构沿X方向间距可调地设置于支撑机构内,吸附机构能够部分伸出支撑机构,以吸附待吸附物料。调节机构包括安装板和多个凸筋结构,安装板在Z方向上高...