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一种气压传感器环氧树脂屏蔽盖及其气压传感器制造技术
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下载一种气压传感器环氧树脂屏蔽盖及其气压传感器的技术资料
文档序号:46391824
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本技术公开了一种气压传感器环氧树脂屏蔽盖,包括盖体,所述盖体中部开设有容纳腔,所述容纳腔底部开设有透气孔。进一步地,所述容纳腔的深度和盖体的高度比为1~1.5:2。一种气压传感器,包括基板,所述基板上固定有MEMS器件,MEMS器件通过导线...
该专利属于浙江嘉辰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江嘉辰半导体有限公司授权不得商用。
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