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本公开涉及流量传感器和光声检测器。流量传感器包括带有凹槽(4)的基板(2)，其中在基板(2)上设置有由多个铂薄膜轨迹组成的电阻蜿蜒部(3)，这些轨迹具有跨越凹槽(4)的网板(6)，其中在基底(2)上设置有覆盖电阻蜿蜒部(3)的盖(16)，盖...该专利属于UST环境感应技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过UST环境感应技术有限公司授权不得商用。
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本公开涉及流量传感器和光声检测器。流量传感器包括带有凹槽(4)的基板(2)，其中在基板(2)上设置有由多个铂薄膜轨迹组成的电阻蜿蜒部(3)，这些轨迹具有跨越凹槽(4)的网板(6)，其中在基底(2)上设置有覆盖电阻蜿蜒部(3)的盖(16)，盖...