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本发明提供了一种散热一体化VCSEL芯片及其制作方法，其中，散热一体化VCSEL芯片包括：设置在衬底一侧的VCSEL结构，VCSEL结构包括发光阵列；设置在衬底背离VCSEL结构一侧表面的散热装置；散热装置利用帕尔特效应，使VCSEL芯片工...
该专利属于扬州乾照光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州乾照光电有限公司授权不得商用。

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