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本发明涉及芯片表面缺陷检测方法技术领域，具体涉及一种基于联邦半监督学习的芯片表面缺陷检测方法及系统，基于联邦半监督学习的芯片表面缺陷检测方法包括：在供货方服务器上利用有监督数据对目标客户端进行模型训练，通过引入辅助代理模型参与本轮训练，目标...
该专利属于大量科技（涟水）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大量科技（涟水）有限公司授权不得商用。

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