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本发明公开了一种低铟陶瓷靶材及其制备方法和应用,该低铟陶瓷靶材包括如下按质量百分比计算的组分:氧化铟的含量为50.2%~60.8%;氧化锌的含量为16.8%~25.3%;氧化锡的含量为18.0%~28.3%;金属氧化物0.10%~2.5%;...该专利属于中山智隆新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山智隆新材料科技有限公司授权不得商用。
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