下载显微镜载物台和用于检查样本的方法的技术资料

文档序号:46376673

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第一方面,提供了一种显微镜载物台,其包括:接收表面,配置为接收具有多个样本区的至少第一样本载台;成像区;以及表面移动装置,用于沿至少两个方向移动所述接收表面,其中所述表面移动装置具有沿所述至少两个方向的移动范围,使得所述多个样本区中的任一所...
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