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本发明涉及半导体激光清洗工艺的技术领域，尤其是涉及一种半导体激光清洗工艺中光强动态均衡控制方法，其包括通过光强分布监测装置实时获取数据，动态调节模块生成指令，可调光学组件调整光束，以及反馈机制优化策略。还包括装夹准备、初始校准、动态调节、过...
该专利属于安徽富乐德科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德科技发展股份有限公司授权不得商用。

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