下载用于处理废水中的唑类、金属和二氧化硅固体的组合的浆料铜废料和浓缩铜废料的技术资料

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一种从含铜溶液中去除有机化合物的方法,包括由来自半导体制造设施的铜化学机械抛光(CMP)操作的废水和来自半导体制造设施的浓缩铜废料流(CCW)的混合物产生含铜溶液,以及将氧化剂引入含铜溶液中,所述铜催化由氧化剂产生羟基自由基,所述羟基自由基...
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