下载一种单晶炉掺杂剂加料工装的技术资料

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本技术涉及单晶硅制造技术领域,具体涉及一种单晶炉掺杂剂加料工装,包括石英护罩,所述石英护罩的底部开口,石英护罩的顶部设置有挂耳,所述挂耳处贯穿开设有吊孔;石英护罩内设置有桶体,所述桶体内放置有掺杂剂,桶体自下而上通过所述底部开口送入石英护罩...
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