下载一种离子溅射镀膜机专用旋转机架的技术资料

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本技术公开了一种离子溅射镀膜机专用旋转机架,属于离子束溅射镀膜机技术领域,一种离子溅射镀膜机专用旋转机架,包括镀膜箱,镀膜箱的上端安装有盖板,盖板的内部安装有传动组件,盖板的上端安装有电机,电机的输出端与传动组件的传动端固定连接,镀膜箱的侧...
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