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一种气浮平台微动调节机构制造技术
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文档序号:46355557
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一种气浮平台微动调节机构,涉及气浮平台调节技术领域,解决现有技术中存在的利用气吸附技术调整气浮块平台位置,成本较高且噪音大的问题。包括导轨底座,所述导轨底座上连接有气浮导轨,所述气浮导轨上滑移连接有主气浮平台,所述主气浮平台的一端连接有辅助...
该专利属于青岛前哨精密仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛前哨精密仪器有限公司授权不得商用。
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