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本技术适用于晶圆加工技术领域，提供了一种旋转式晶圆烘干机，包括机体，所述机体的顶端开设有烘干腔，所述烘干腔内安装有转盘，所述转盘内设置有放置机构，所述机体位于烘干腔的下方开设有机箱腔，所述机箱腔的顶端设置有旋转机构，所述机箱腔位于旋转机构的...
该专利属于重庆长捷电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆长捷电子有限公司授权不得商用。

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