下载测量装置的标定方法、装置、介质及程序产品的技术资料

文档序号:46353175

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本公开提供测量装置的标定方法、装置、介质及程序产品。方法包括:通过每个轮廓仪照射于一对标定件的表面以得到各自的轮廓仪坐标系下的一第一测量数据;由一对标定件所构造的特征图案位于各轮廓仪的公共视野中;基于第一测量数据确定每个轮廓仪与一对标定件之...
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