下载薄膜处理设备的技术资料

文档序号:4635196

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本发明涉及一种薄膜处理设备(8),包括具有至少一个柱形部分(26)的转子(16),至少一个刮擦叶片(32,33,34,35,36,41)布置在所述柱形部分上,所述刮擦叶片包括至少两个齿(42,43,44,42′,43′,44′),其特征在于...
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