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本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种空心阴极离子镀膜系统。该镀膜系统包括真空腔室、载板、传送组件和多个等离子单元。载板被配置为放置基片，载板设置在真空腔室内。传送组件与载板驱动连接以驱动载板沿第一方向运动。每个等离子单元包括两个等离子枪和两...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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