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本技术涉及的晶圆夹持装置，其包括绕着晶圆周向分布的多个夹轮、动力部件，多个夹轮划分为位于晶圆相对两侧的第一夹轮组和第二夹轮组，第一夹轮组和第二夹轮组能够相向靠近或远离运动以形成夹紧晶圆的第一位置或者释放晶圆的第二位置，处于第一位置时，第一夹...
该专利属于拓思精工科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓思精工科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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