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本发明的目的在于提供一种可在低温下有效、且大量、廉价地制造可用作工业材料的单壁碳纳米管的薄膜的方法及装置，所述方法及装置的特征在于：利用流动气相ＣＶＤ法而将原料源合成为碳纳米管，并在连结于反应管的腔室内，使合成的碳纳米管直接附着于基板上而在...
该专利属于独立行政法人产业技术总合研究所所有，仅供学习研究参考，未经过独立行政法人产业技术总合研究所授权不得商用。

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