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本发明提供了一种晶圆的电容测试方法、装置和电子设备，包括：在进行空针电容测试前，读取待测对象的测试信息；基于测试信息中的共性信息生成判断变量；基于判断变量确定是否存在对应的空针电容值；如果不存在，则根据测试信息对待测对象进行空针测试，并将测...
该专利属于杭州广立测试设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州广立测试设备有限公司授权不得商用。

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