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本申请提供了一种锁紧装置及运动机构，涉及精密设备技术领域。本申请涉及的锁紧装置包括固定块、柔性件、吸附块和预载机构；所述柔性件柔性连接所述固定块和所述吸附块；所述吸附块背离所述固定块的一侧具备一个或多个用于提供负压的负压区域；所述预载机构连...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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