下载一种载板及其应用、载板组件和镀膜设备的技术资料

文档序号:46252138

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本发明涉及一种载板,该载板包含以下组分:Al:0.66‑60.74重量份、Si:5.60‑73.44重量份、O:31.66‑80.74重量份、Mg:0.35‑30.74重量份、Zn:0.22‑47.74重量份,余量为不可避免的杂质。另外,本...
该专利属于江西汉可泛半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西汉可泛半导体技术有限公司授权不得商用。

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