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本发明公开了一种基于LNOI的光学相控阵辐射天线及其制备方法，该天线以LNOI为平台，在其输入波导上覆盖氮化硅柱形成氮化硅光栅，氮化硅柱沿导波传输方向分布在所述输入波导中间或两侧，避免了直接刻蚀铌酸锂，能够可以减小辐射天线的辐射面积从而扩大...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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