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本发明属于光栅MOEMS加速度传感技术领域，具体涉及一种纳米光栅干涉式三轴MOEMS加速度传感装置，包括上层光栅、敏感结构层、驱动磁体和底座；所述上层光栅设置在敏感结构层上方，所述敏感结构层设置在驱动磁体上方，所述上层光栅、敏感结构层和驱动...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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