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具有大而均匀的电流的大阵列上指PIN二极管及其形成方法技术
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下载具有大而均匀的电流的大阵列上指PIN二极管及其形成方法的技术资料
文档序号:4605132
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本发明公开了一种沉积硅、锗、或硅锗形成的上指PIN二极管。该二极管具有底层重掺杂P型区、中间本征或轻掺杂区和上层重掺杂N型区。上层重掺杂P型区掺杂砷,并且二极管的半导体材料在接触合适的硅化物、锗化物或硅锗化物时被结晶。可以形成大阵列的此上指...
该专利属于桑迪士克3D公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑迪士克3D公司授权不得商用。
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