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本发明公开了一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统，具体涉及半导体制造设备领域，包括任务初始化模块、智能调度模块、圆盒运输模块、缓存调度模块、异常处理模块以及任务反馈模块；任务初始化模块：生产管理系统MES根据生产计划生成晶圆盒搬运任务；智...
该专利属于上海铠铂云信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海铠铂云信息科技有限公司授权不得商用。

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