下载一种研磨装置的技术资料

文档序号:46003485

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本发明公开了一种研磨装置,包括内设有研磨通道的研磨主体、研磨头、用于驱动所述研磨头转动的驱动轴,所述研磨通道内设有用于稳定所述驱动轴升降的辅助架,所述驱动轴通过快装组件安装于所述辅助架;所述快装组件包括快装弹性件和锁接件,所述快装弹性件夹于...
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