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一种用于旋转机架二极磁铁真空室的在线三维调节装置及方法制造方法及图纸
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下载一种用于旋转机架二极磁铁真空室的在线三维调节装置及方法的技术资料
文档序号:45979427
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本发明涉及一种用于旋转机架二极磁铁真空室的在线三维调节装置及方法,包括:管道夹持机构,用于夹持真空室;驱动与调节组件,包括X轴横向调节单元、Y轴纵向调节单元和Z轴垂向调节单元,所述X轴横向调节单元垂直布置于所述Y轴纵向调节单元的移动部上,所...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。
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