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本发明公开了一种在半导体材料表面制备周期性结构的系统及方法。在半导体材料表面制备周期性结构的方法包括：以由飞秒激光与皮秒激光合束形成的合束激光辐照半导体材料表面，利用飞秒脉冲与皮秒脉冲双光束干涉在半导体材料的表面形成所需的周期性结构。本发明...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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